気体成分検出装置202096824
書誌
【出願番号】特願2020-96824(P2020-96824)
【発明の名称】気体成分検出装置
【出願人】ピコデバイス、村田製作所
要約
【課題】ガスクロマトグラフィーにおいてセンサの被毒を抑制する。
【解決手段】気体成分検出装置１０は、カラム２１、センサ２３、流路６２１、６２２、および、流路切替器２２を備える。カラム２１は、被検出気体の成分を分離する。センサ２３は、例えば半導体センサであり、カラム２１の下流に接続され、被検出気体の成分を検出する。流路６２１、６２２は、カラム２１とセンサ２３とを接続する。流路切替器２２は、流路６２１と流路６２２との間に配置されている。流路切替器２２は、カラム２１から排出された被検出気体をセンサ２３に流入させる計測態様と、カラム２１から排出された被検出気体を外部に排出する排出態様とを切り替えて実行する。
【選択図】 図１
